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型號:GP200-SiPH
8英寸矽光測試手動探針臺
應用│▩✘:GP200-SIP系列8英寸探針臺包含矽光晶片的DC&RF&OO測試所需的完整配置▩•◕·▩,在最短時間內可準確地完成晶片的引數測試與提取·╃。
XY行程 | 快速定位行程│▩✘:210mm×210mm; 精調行程│▩✘: 210mm×210mm ▩•◕·▩, 精調解析度│▩✘:≤ 1.0 μm;驅動方式│▩✘:手動 |
Z軸行程 | 10mm;驅動方式│▩✘:手動 |
Theta旋轉 | 快速旋轉角度│▩✘:360°;精調角度│▩✘:±15°▩•◕·▩,精調解析度│▩✘:<0.02°;驅動方式│▩✘:手動 |
Chuck臺 | 尺寸:203mm(8inch) ;真空盤可調節高度│▩✘:±5mm 真空快速切換開關▩•◕·▩,真空調節檔位│▩✘:Center◕↟•、2’◕↟•、4’◕↟•、8’ 安裝方式│▩✘:真空盤與主體絕緣 |
檯面精度 | 平面度│▩✘:<10 μm |
快速拉出結構 | 行程│▩✘:100mm |
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