opus探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一│▩,也是開展微電子與光電子原型器件研究的基本裝置│▩,可吸附多種規格晶片│▩,並提供多個可調測試針以及探針座│▩,配合測量儀器可完成積體電路的電壓│╃╃·、電流│╃╃·、電阻以及電容電壓特性曲線等引數檢測↟☁▩。可用於各種有機半導體器件與奈米器件的電學效能評估│╃╃·、電學行為分析等↟☁▩。
半導體測試可以按生產流程可以分為三類☁☁│:驗證測試│╃╃·、晶圓測試測試│╃╃·、封裝檢測↟☁▩。
opus探針臺主要用於晶圓製造環節的晶圓檢測│╃╃·、晶片研發和故障分析等應用↟☁▩。晶圓檢測環節還需要使用測試儀/機│▩,測試儀/機用於檢測晶片功能和效能│▩,它實現被測晶片與測試機的連線│▩,透過它和測試機的配合使用│▩,可以對晶圓上的裸晶片進行功能和電引數測試或射頻測試│▩,可以對晶片的良品│╃╃·、不良品的進行篩選↟☁▩。
探針臺如何工作·╃•↟│?
它可以固定晶圓或晶片│▩,並精確定位待測物↟☁▩。手動的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中│▩,並使用顯微鏡將探針jian端放置到待測物上的正確位置↟☁▩。一旦所有探針jian端都被設定在正確的位置│▩,就可以對待測物進行測試↟☁▩。可以將電探針│╃╃·、光學探針或射頻探針放置在矽晶片上│▩,從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試晶片/半導體器件↟☁▩。
對於帶有多個晶片的晶圓│▩,使用者可以抬起壓盤│▩,壓盤將探針頭與晶片分開│▩,然後將工作臺移到下一個晶片上│▩,使用顯微鏡找到精確的位置│▩,壓板降低後下一個晶片可以進行測試↟☁▩。半自動和全自動系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程│▩,提高了探針臺生產率↟☁▩。