溫控探針臺是一款使用溫度範圍在-190℃-600℃的儀器☁☁,在我們使用時還可對樣品氣氛進行控制☁☁,同時允許探針電測試☁↟╃₪◕、光學觀察和樣品氣體環境控制╃•。這樣既可以保證☁☁,即使在極低溫度下☁☁,腔體也不產生結霜影響實驗☁☁,又可以防止樣品發生氧化╃•。探針臺上蓋與底殼構成一個氣密腔☁☁,可往內充入氮氣等保護氣體☁☁,來防止樣品在負溫下結霜☁☁,或高溫下氧化╃•。此款透過槓桿式支架☁☁,使用的是彎針探針╃•。相比傳統的直針探針☁☁,這種設計不僅點針更準確☁☁,而且點針力度更大☁☁,和樣品的電接觸性更好╃•。
作為半導體封測行業三大裝置之一☁☁,探針臺主要應用於半導體行業以及光電行業的晶圓☁↟╃₪◕、晶片等器件的測試☁☁,研發難度大☁☁,國產化率低☁☁,進口依賴度高☁☁,它的品質和精度直接決定測試可靠性與否╃•。探針臺加工廠家潮溼的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生鏽蝕現象╃•。
溫控探針臺的功能特點·◕₪•:
1☁↟╃₪◕、可程式設計精密控溫╃•。可獨立控制☁☁,也可從上位機軟體控制;
2☁↟╃₪◕、探針需開蓋移動☁☁,樣品檯面電接地;
3☁↟╃₪◕、探針分別導通冷熱臺外殼上的4個BNC介面;
4☁↟╃₪◕、槓桿式探針支架☁☁,點針力度更大☁☁,電接觸性更好;
5☁↟╃₪◕、彎針探針☁☁,點針更精準;
6☁↟╃₪◕、預設氣密腔室☁☁,通問2個快速自鎖接頭☁☁,可充保護氣體;
7☁↟╃₪◕、上蓋帶有樣品觀察窗;
8☁↟╃₪◕、臺體內建乾燥氣體管道☁☁,用於負溫時對視窗的除霜;
9☁↟╃₪◕、視窗可拆卸與更換☁☁,可用不同材質窗片實現不同波段光觀察;
10☁↟╃₪◕、軟體可拓展性強☁☁,可提供LabView等語言的SDK;
半導體測試是半導體生產過程中的重要環節☁☁,其測試裝置包括測試機☁↟╃₪◕、分選機☁↟╃₪◕、探針臺╃•。其中☁☁,測試機是檢測晶片功能和效能的專業裝置☁☁,分選機和探針臺是將晶片的引腳與測試機的功能模組連線起來的專業裝置☁☁,與測試機共同實現批次自動化測試╃•。受益於國內封裝測試業產能擴張☁☁,半導體測試裝置市場快速發展╃•。