全自動探針臺是一種用於半導體行業的重要裝置╃·│↟◕，主要用於在製造積體電路的過程中對晶片進行測試和驗證▩│·。探針是用來與晶片上的接觸點進行接觸並測試其效能的工具╃·│↟◕，而探針臺則是用於控制探針的精確位置和操作╃·│↟◕，以及進行資料採集和處理的重要裝置▩│·。
全自動探針臺的結構包括以下幾個主要部分◕☁•：
機械系統◕☁•：機械系統是核心部分╃·│↟◕，它包括一個精密的XYZ座標系╃·│↟◕，用於控制探針的移動▩│·。這個座標系通常由高精度的直線導軌₪☁╃、伺服電機和光學編碼器組成▩│·。此外╃·│↟◕，機械系統還包括一個可以容納多個探針的探針座╃·│↟◕，以及一個可以自動更換探針的裝置▩│·。
光學系統◕☁•：光學系統是重要部分之一╃·│↟◕，它包括一個高精度的顯微鏡和一組用於照明和觀察晶片的鏡頭▩│·。透過光學系統╃·│↟◕，操作者可以清晰地觀察到晶片上的接觸點╃·│↟◕，並將探針準確地放置在接觸點上▩│·。
電氣系統◕☁•：電氣系統是控制中心╃·│↟◕，它包括一個主控制器₪☁╃、一個電源和一個與計算機連線的資料介面▩│·。主控制器用於控制機械系統和光學系統的操作╃·│↟◕，電源用於提供能量╃·│↟◕，而資料介面則用於將測試資料傳輸到計算機中進行處理和分析▩│·。
軟體系統◕☁•：軟體系統是關鍵部分之一╃·│↟◕，它控制著整個測試過程╃·│↟◕，包括探針的移動₪☁╃、測試訊號的施加和測量₪☁╃、以及資料的採集和處理等▩│·。軟體系統通常採用圖形使用者介面(GUI)來方便操作者進行操作和監控▩│·。
全自動探針臺的優點有很多╃·│↟◕，其中主要的優點是高精度和高效率▩│·。由於它採用了先進的機械₪☁╃、光學和電氣技術╃·│↟◕，它可以實現高精度的晶片定位和測試╃·│↟◕，同時可以大大提高測試效率╃·│↟◕，縮短生產週期▩│·。此外╃·│↟◕，還可以實現自動化操作╃·│↟◕，減少人工干預和錯誤率╃·│↟◕，提高生產效率和產品質量▩│·。
全自動探針臺可以實現高精度和高效率的晶片測試和驗證▩│·。透過機械₪☁╃、光學₪☁╃、電氣和軟體系統的緊密配合╃·│↟◕，它已經成為半導體行業中不可缺的裝置之一▩│·。
