半自動探針臺是一種廣泛應用於半導體制造和檢測的裝置₪╃▩₪·，它的主要作用是透過對半導體晶片進行準確的探針測試₪╃▩₪·，以確保其質量和效能符合要求☁☁·▩。
一₪◕·₪、主要由以下幾個部分組成◕↟☁：
探針系統◕↟☁：探針系統是核心部分₪╃▩₪·，它包括一組探針₪╃▩₪·，這些探針可以準確地與半導體晶片上的電極接觸₪╃▩₪·，從而實現對晶片的電氣效能進行測試☁☁·▩。
顯微鏡系統◕↟☁：顯微鏡系統用於觀察和定位半導體晶片₪╃▩₪·，以確保探針準確地與晶片上的電極接觸☁☁·▩。
X-Y-Z 運動系統◕↟☁：X-Y-Z 運動系統用於將探針系統移動到測試位置₪╃▩₪·，並控制探針在半導體晶片上的移動☁☁·▩。
控制系統◕↟☁：控制系統用於控制半自動探針臺的所有動作₪╃▩₪·，包括探針的移動₪◕·₪、測試過程的控制以及資料的採集和處理等☁☁·▩。
二₪◕·₪、效能特點
高精度◕↟☁：採用先進的機械和電氣設計₪╃▩₪·，具有高精度的定位和測試能力₪╃▩₪·，可以實現對半導體晶片的每個電極進行準確的探針測試☁☁·▩。
高可靠性◕↟☁：採用穩定的機械結構和可靠的電氣元件₪╃▩₪·，具有高可靠性和長壽命的特點₪╃▩₪·，可以長時間穩定地工作☁☁·▩。
自動化程度高◕↟☁：可以自動完成測試₪◕·₪、資料採集和處理等操作₪╃▩₪·，大大提高了測試效率☁☁·▩。
多功能性強◕↟☁：可以實現對多種型別的半導體晶片進行測試₪╃▩₪·，可以適應不同的測試需求☁☁·▩。
三₪◕·₪、應用
半導體制造◕↟☁：在半導體制造過程中₪╃▩₪·，可以用於檢測半導體晶片的質量和效能₪╃▩₪·，確保其符合製造要求☁☁·▩。
科研實驗◕↟☁：在科研實驗中₪╃▩₪·，可以用於對半導體材料和器件進行測試和分析₪╃▩₪·，以研究其電學₪◕·₪、光學等方面的性質和規律☁☁·▩。
產品檢測◕↟☁：在產品檢測中₪╃▩₪·，半自動探針臺可以用於對已製造完成的半導體晶片進行電氣效能的檢測₪╃▩₪·，以確保其符合產品要求☁☁·▩。
